徠卡離子減薄儀的薄軸承樣品臺(tái)在減薄過(guò)程中對(duì)離子束無(wú)遮擋。觀察系統(tǒng)中做了特殊設(shè)計(jì),無(wú)需加裝其它光學(xué)系統(tǒng),直接監(jiān)視樣品是否穿孔,十分方便,并裝有自動(dòng)防污染裝置,防止照明及觀察窗被污染。真空系統(tǒng)中裝有防誤操作系統(tǒng),防止由于誤放氣而損害真空系統(tǒng)。
對(duì)于透射顯微術(shù),樣品制備是一個(gè)很重要的實(shí)驗(yàn)室環(huán)節(jié),制備樣品的質(zhì)量起直接影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果的重要性。目前基本上有兩種制備透射電鏡薄膜樣品的方法:一是雙噴電解減薄法;這種方法要求所制備的樣品必須是導(dǎo)電材料,而且材料內(nèi)部各相區(qū)之間電化學(xué)勢(shì)的差別不能太懸殊,否則有的相區(qū)將產(chǎn)生擇優(yōu)腐蝕,限制了透射電子顯微術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域和效能發(fā)揮。
徠卡離子減薄儀操作注意事項(xiàng):
1.必須經(jīng)管理人員同意方可使用;
2.樣品在離子減薄前要通過(guò)機(jī)械研磨或凹坑,厚度要小于30um。
3.樣品臺(tái)一定要水平(沿X軸方向)放置到樣品室中。
4.在離子減薄過(guò)程中,每個(gè)樣品前60%的時(shí)間用10°角,中間20%的時(shí)間用7°角,20%的時(shí)間用4°角。
5.離子槍每工作1小時(shí)一定要停止15分鐘,如果連續(xù)工作會(huì)燒壞離子槍。
6.離子束調(diào)節(jié)開關(guān)(lon Beam Modulator)要在Double狀態(tài),切忌在off狀態(tài)。
徠卡離子減薄儀適用性廣泛,對(duì)金屬,非金屬,半導(dǎo)體,礦物,骨骼和牙齒等幾乎所有固體材料都可以用離子減薄技術(shù)來(lái)制備透射薄膜樣品。離子轟擊材料各相區(qū)的擇優(yōu)傾向不明顯,一般都可獲厚度較為均勻地薄區(qū),在電鏡中觀察時(shí)有更廣闊的視野功選擇,也可對(duì)樣品進(jìn)行大角度傾斜以獲得預(yù)期結(jié)果。